鄭振華主任

1968–1971
清大原子科學研究所鄭振華所長兼任主任(第一任)

張去疑主任

1971–1975
張去疑教授接任第二任

汪一彪主任
汪一彪
國科會精儀中心

1975–1976

蘇青森主任
蘇青森
國科會精儀中心

1976–1987

王大庚主任
王大庚
國科會精儀中心

1987–1993

黃文雄主任
黃文雄
國科會精儀中心

1993–2000

陳建人主任
陳建人
國研院儀科中心

2000–2008

蔡定平主任
蔡定平
國研院儀科中心

2008–2012

葉哲良主任
葉哲良
國研院儀科中心

2012–2017

楊燿州主任
楊燿州
國研院儀科中心

2017–2023