精儀中心 30 週年慶特刊

精密儀器發展中心成立三十週年回顧 [ 下載 PDF ]

陳建人

植被及國土變遷觀測儀 [ 下載 PDF ]

郭慧君, 黃鼎名, 蔡和霖, 陳至堅, 蘇方旋

植被及國土變遷觀測儀 (VCDi) 是國科會精密儀器發展中心(以下簡稱精儀中心) 自行發展的一套機載多光譜遙測取像系統。自設計、製造、組裝、系統整合、功能測試，到最後完成機載取像，共歷時三年，充分展現精儀中心發展機載遙測儀器的能力。

微微衛星酬載之微型光譜儀 [ 下載 PDF ]

黃吉宏, 吳宗達, 黃明鴻

微微衛星係指重量小於 1 公斤以下之衛星。國家實驗研究院國家太空計畫室 (NSPO) 為開發及測試國內潛在之國產太空元件，並驗證國內衛星相關設計之整測資源，決定自行發展微微衛星。微微衛星在設計上採用史丹佛與 Cal Poly 所共同發展的 CubeSat 架構，主要計畫目標以測試國內整合並測試國產元件與系統為主軸，發展重量小於 1 公斤，外觀幾何尺寸為 10 cm³ 之微微衛星。本文將就國科會精密儀器發展中心所發展之微微衛星用微型光學酬載計畫進行說明。

全景觀測系統發展沿革 [ 下載 PDF ]

蔡和霖, 蘇方旋, 林修國, 吳宗達

全景觀測系統是一個於地面進行取像的影像掃描儀。該系統為國科會精密儀器發展中心研製之遙測鏡頭建立一測試平台，研製的同時也建立光學遙測系統的系統層級測試項目之設備與流程。由於其解析度高且影像一體成型，適合水壩與橋樑變形監測之用。

光度計及影像儀系統研製及其應用 [ 下載 PDF ]

李龍正, 張勝聰, 黃鼎名

光度計及影像儀系統研製計畫起源於參與華衛二號科學酬載研究，為國科會精密儀器發展中心研製類似科學酬載拍攝高空向上閃電之地面模組，儀器系統包括三波段光度計 (777 nm、428 nm、650 – 900 nm) 和低照度影像儀。除驗證科學酬載光學實驗的功能外，未來將應用於地面閃電精靈觀測實驗。本文也將說明光度計和影像儀的其他應用，包括半導體製程真空測漏。

精儀中心真空技術之研究發展 [ 下載 PDF ]

蕭健男

近年來我國真空科技伴隨著高科技產業的崛起而迅速發展，躬逢其盛的國科會精密儀器發展中心 (以下簡稱精儀中心) 在其中扮演著極重要的推動角色，適值三十週年慶前夕，本文特就精儀中心在真空設備技術、薄膜製程與檢測技術及真空檢校技術等領域的發展歷程作一回顧，並展望未來作一前景規劃。

微光學元件之設計技術與應用 [ 下載 PDF ]

林暉雄

自 1997 年微透鏡的研製開始，國科會精密儀器發展中心 (以下簡稱精儀中心) 成功地開發出數種關鍵性的微光學元件，包括菲涅爾微透鏡、光束整型器、遠場繞射圖像元件 (或電腦全像片)、無繞射光束產生器、長焦深雙波長讀寫頭物鏡、凹面型微光柵元件、微型柱狀鏡等。精儀中心專注於關鍵性微光學元件之設計與開發，也致力於發展微光學系統，如微光譜儀與微全生醫系統等，七年來成果豐碩，並廣泛地應用於生醫奈米／微系統、光通訊分波元件、光資訊讀取系統等科技或工程領域。

微系統製程技術發展 [ 下載 PDF ]

林郁欣, 胡一君, 周曉宇

國科會精密儀器發展中心所發展之微系統製程技術，包含紫外光光阻微影技術、準分子雷射加工製程技術、感應耦合電漿離子蝕刻製程技術、精密電鑄製程技術及精密熱印壓模技術等。近年來結合電子束曝光微影系統與聚焦離子束系統，已跨入奈米相關製程技術研發，並已建立相關奈米製程技術能量，為國內擁有系統化微米及奈米製程的技術單位。

非球面技術發展 [ 下載 PDF ]

李建興, 林洵焜, 郭慶祥, 廖俍境

國科會精密儀器發展中心於日前發表口徑 300 mm 之 Zerodur® 及 160 mm 之 SiC 等太空用途之特殊材料所製非球面鏡，為我國首度公開航太等級大口徑非球面光學元件的研製成果。適逢國科會精密儀器發展中心成立三十周年，特別針對非球面技術領域的發展概括地作一介紹，期許藉由本文之歸納能對相關研究人員有所助益，積極累積我國在此非球面領域上技術能量。

精密儀器之機械設計與加工實務 [ 下載 PDF ]

陳峰志, 林春堂, 陳念祖, 黃建堯, 林進祥

國科會精密儀器發展中心(以下簡稱精儀中心) 肩負我國學術與研究所需精密儀器之雛型研製任務，所提供特殊儀器委製與設計服務，可滿足許多前瞻學術研究所需而市售儀器設備又無法提供的獨特實驗與物理現象觀測。機械是工業之母也是實現科技創意的根本，精儀中心所設機械工廠乃是扮演學術與研究創意具體化之輔助角色，透過機械設計與加工之工程技術，將各項創意與理論實體化，以實踐其前瞻學術研究，是我國科技發展之重要技術資源。本文將簡介精儀中心機械工廠支援研究計畫及其他學術研究機構之機能與發展，並介紹其機械設計與加工技術及實務，企盼提昇服務層面與技術層次，以迎合科技發展趨勢，支援我國學術研究與高科技產業發展。

儀器電源電路設計與應用實務 [ 下載 PDF ]

廖泰杉

本文介紹國科會精密儀器發展中心應學術界與工業界需求所開發之低電壓驅動電路模組、1000 V / 10 W 高壓電源驅動模組及雙極性高壓放大器，供各位讀者參考，並歡迎技術移轉。

奈米表面檢測技術之回顧 [ 下載 PDF ]

蘇健穎, 林宇軒

掃描探針顯微術與近場光學顯微術於奈米表面檢測技術佔有重要的地位，是產業界與學術界頗受重視的檢測分析技術。掃描探針顯微術具備原子級解析度，同時可檢測材料表面電性、磁性與力學等多種微觀特性，而近場光學顯微術則突破傳統光學繞射極限的解析限制，無論在生物、材料及物理化學等領域都有廣泛的應用。本文將介紹這兩項技術的基本原理以及在國科會精密儀器發展中心長年來的研究發展與應用。

精儀中心真空標準檢校技術之發展 [ 下載 PDF ]

廖鶯鶯

真空檢校能量在現今科技世界中扮演著廣泛且重要的任務，隨著科技和工業需要而日形重要，國科會精密儀器發展中心深切瞭解學研界與業界在真空量測技術寬廣的量測範圍與準確的量測數據需求，遂建立真空標準室，發展真空檢校能力，以應需要。為推廣應用服務各界，乃響應中華民國實驗室認證體系之推動，建置真正屬於我國與世界認證制度相容的 ISO/IEC 17025 校正及測試實驗室能力之認證規範，並通過現場評鑑認可與授證，以昭信於大眾。